目前没有直接提及半导体设备ETF历史业绩在同类中排名的具体数据。不过从2026年的市场表现来看，截至5月12日午间，半导体设备ETF广发近9个交易日累计上涨20.61%，中证半导体材料设备主题指数(931743)也强势上涨，科创半导体材料设备指数近期表现突出，周收益率与年内涨幅均领先同业，相关ETF产品流动性及交易活跃度居前。

关于现在是否能买入半导体设备ETF，需要综合多方面因素来判断。

从有利因素来看，2026年全球九大云厂商资本开支上调，AI算力基础设施化趋势明确，GPU、HBM、高速交换芯片及先进封装等环节扩产持续推进，对前道设备需求形成持续拉动。同时，半导体设备国产化加速替代，国内晶圆厂在快速扩产过程中持续加大对本土供应链的扶持力度，设备端自主可控逻辑进一步强化。

然而，也存在一些不确定因素。展望第二季度，半导体行业走势可能进入“产业景气”与“宏观风险”激烈博弈的新阶段。最大的不确定性来自地缘政治，霍尔木兹海峡能否恢复通航、中东局势是否会再度升级，将直接决定全球通胀路径与风险资产偏好，对相关经济体股市的影响显著。此外，高企的芯片价格对下游需求的真实抑制效应，以及行业资本开支回升可能带来的远期供需变化也值得警惕。

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