从历史业绩来看，半导体设备ETF表现较为亮眼，但波动较大。短期业绩方面，截至2026年1月19日收盘，广发半导体设备ETF（560780）年内累计上涨27.61%，居全市场ETF之首；截至2025年11月20日，华夏中证半导体材料设备主题ETF今年以来净值增长率达41.18%；截至2025年12月16日，易方达半导体设备ETF今年以来基金回报51.6%，同类排名303/3356。

长期表现上，在2020 - 2021年行业上升期，因技术突破和市场需求大增，半导体设备ETF涨幅超50%，大幅跑赢沪深300指数；截至2025年10月10日，华夏国证半导体芯片ETF近一年涨幅61.57% ，今年以来涨幅48.85%；代码561980的半导体设备ETF近1年收益率58.92%，优于94%同类产品，成立以来收益106.9%，年化回报超78%。不过在2022年行业低谷期，它遭遇了大幅调整，部分产品回撤超30%。整体从近一年业绩来看，该类基金在同类中处于中等偏上水平。

然而，半导体设备ETF聚焦半导体设备领域，行业针对性强，在行业上升期收益潜力大，但也面临行业集中度过高的风险，如果半导体设备行业整体受挫，表现可能不如一些分散投资的同类产品。从业绩相关的波动和回撤数据来看，半导体设备ETF近1年波动率达35.49%，最大回撤21.7%，抗波动能力在同类中仅优于6.25%的产品，历史业绩抗波动能力较弱，短期波动较大。

对于是否可以开始定投，需要综合多方面因素考量。有利因素是行业需求上升，先进制程建设提速，国内晶圆厂对设备需求依然旺盛，国产化率提升仍是未来重要看点；在AI和高性能计算推动下，存储、逻辑及功率半导体领域的设备投资将持续扩张，带动全产业链发展；当前半导体设备ETF的估值处于历史低位（低于73%的时期），持有半年的盈利概率为63.33%，投资性价比在同类中处于中上水平。不利因素是投资总是有风险的，过往业绩也不代表未来表现。半导体设备ETF行业集中度过高，单纯投资风险相对集中，若半导体行业整体受挫，其表现可能不如分散投资的同类产品。

如果您看好半导体行业长期发展，且风险承受能力较高、投资期限较长，可考虑通过定投的方式适当配置半导体设备ETF，定投可以在一定程度上平滑市场波动的影响。建议您下载盈米启明星APP输入6521，利用估值工具结合行业趋势和政策环境对半导体设备ETF进行估值分析，盈米基金也会有专业顾问为您详细介绍，帮您制定个性化的投资方案。